無油活塞真空泵原理：通過容積變化，在體積大的時候吸入空氣，在體積變小時(壓力變大)排出空氣，容積變化是靠著活動的機械部件來實現的，要求有很小的間隙并且有很高的精度，比如爪泵。依靠非常高的機械動轉速度，將空氣分子定向撞擊而攜帶走，如分子泵。低溫泵在接近華式零度的冷面上，幾乎所有的空氣分子都被冷凍捕集在表面。
無油活塞真空泵優點是不返油，對被抽空間沒有油蒸汽污染，不噴油，沒有油蒸汽從泵口排出，不污染環境，屬于環保類產品，因此發展前景很好，被稱為二十一世紀“綠色真空泵”。
無油真空泵又稱干式泵，主要包括旋片式、活塞式、螺桿式、渦旋式、渦輪式、爪型泵等等。
無油活塞真空泵使用過后，或者長期不用，需要記得一下方面：
1.真空泵軸每月轉動一次以免凍結，并潤滑軸承。
2.沖洗，抽吸管線、排放管線、風機殼和葉輪，并排凈風機殼、抽吸管線和排放管線中的沖洗液。
3.排凈軸承箱的油，再加注干凈的油，*清洗油脂并再填充新油脂。
4.封堵吸入口和排放口，將真空泵貯存在干凈、干燥地方，保護電機繞組免受潮濕，用防銹液和防蝕液噴射真空泵殼內部。
安裝時泵必須安裝在平坦的平面上，將泵放在類似混凝土堅硬的地基上安裝，沒有條件的話，也可將泵牢固地安裝在鋼制或木制的機架上，確保泵不因基礎不牢固而引起震動。
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